Метрология, стандартизация и сертификация — Егорова О.

За последнее время произошли изменения не только в номенклатуре световых микроскопов, но появились и новые направления и виды приборов для технических целей. По-прежнему остаются важными вопросы, связанные с технологией изготовления, измерения, оценки качества оптических систем, а также с их тестированием с помощью микроскопических методов исследования. В книге рассмотрены вопросы применения и классификации технических микроскопов, в том числе внимание уделено приборам для микроэлектроники....