Электроника — Хоффман Д.

Предлагаемый справочник по вакуумной технике и технологиям является переводом книги, созданной американскими специалистами. .В справочнике приведены фундаментальные положения технологии вакуума и физики поверхности, рассмотрены конструкции различных типов насосов и средств измерения вакуума и течеискания. Подробно описаны различные вакуумные системы и технологии. Приведены примеры применения вакуумной техники. .Большое внимание в справочнике уделено описанию технологии получения и поддержания...