Вехи физики XX века Выпуск 125

Очередной сборник “Фантастика” издательства “Молодая гвардия”, в котором представлены повести и рассказы советских писателей. А так же интервью с известным польским писателем-фантастом Станиславом Лемом.

Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности. Сегодня размеры используемых полупроводниковых подложек возросли до 450 мм, а размеры элементов, формируемых на пластине в серийном производстве, уменьшились до 0,02-0,04 мкм. В результате степень...