Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

Здесь можно скачать "Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов", год 2011 в формате fb2 полную версию бесплатно без регистрации и SMS, а также читать онлайн книгу на сайте ПараКниг (paraknig.me)

Год издания: 2011
Полная версия книги

Рейтинг

Содержание книги - Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов Красников Геннадий Яковлевич

Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов - описание и краткое содержание, автор Красников Геннадий Яковлевич, читайте бесплатно онлайн на сайте электронной библиотеки paraknig.me

В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий.
Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.
2-е издание, исправленное.





Чтобы оставить свою оценку и/или комментарий, Вам нужно войти под своей учетной записью или зарегистрироваться


Пока никто не оставил впечатление о книге...


Пока никто не оставил цитат из этой книги...

Другие книги авторавсе книги
Сизифов мост над рекой Времени Лабиринты культуры в зеркале русской истории Эссе мемуары философская лирика
Присмотрись - и ты заметишь
Основы проектирования субмикронных микросхем
На сквозняке Екклезиаста
"И мы сохраним тебя, русская речь, великое русское слово!.." Классики и современники о русском языке
Сизифов мост над рекой Времени. Лабиринты культуры в зеркале русской истории. Эссе, мемуары