Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Чтобы оставить свою оценку и/или комментарий, Вам нужно войти под своей учетной записью или зарегистрироваться
Пока никто не оставил впечатление о книге...
Пока никто не оставил цитат из этой книги...
Автор | Ian Sinclair |
Жанр | Техническая литература, Электроника |
Автор | Langbridge James |
Жанр | Радиотехника, Зарубежная образовательная литература, Высокие технологии, Техническая литература, Электроника, Кибернетика |
Автор | Reed Karin |
Жанр | Руководства, Зарубежная образовательная литература, Искусство фотографии, Телевидение, Электроника |
Автор | Сатья Наделла |
Жанр | Биографии и Мемуары, Зарубежная деловая литература, Зарубежная компьютерная литература, Техническая литература, Электроника |
Автор | Анатолий Кузнецов, Кузнецов Анатолий |
Жанр | Электроника |
Год | 2018 |
Жанр | Электроника |
Год | 2016 |