Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
.Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Чтобы оставить свою оценку и/или комментарий, Вам нужно войти под своей учетной записью или зарегистрироваться
Пока никто не оставил впечатление о книге...
Пока никто не оставил цитат из этой книги...
Автор | Михаил Барятинский |
Жанр | Технические науки |
Год | 2009 |
Автор | Игорь Дроговоз |
Жанр | История, Военная техника и вооружение, Технические науки |
Год | 2001 |
Автор | С. Иванов |
Жанр | История, Военная техника и вооружение, Технические науки |
Год | 2005 |
Автор | Михаил Барятинский |
Жанр | Технические науки |
Год | 2006 |
Автор | С. Иванов |
Жанр | История, Военная техника и вооружение, Технические науки |
Год | 2005 |
Автор | P. Соловьев |
Жанр | Технические науки |
Год | 2008 |