Представлены основные виды эпитаксиальных технологий. Рассмотрено конструктивное оформление и основные параметры наиболее распространенных видов эпитаксиального роста.
Сформулированы требования к эпитаксиальным подложкам и описаны основные этапы их подготовки для эпитаксии. Рассмотрены особенности зародышеобразования в гетерогенных системах. Представлена классификация видов и механизмов эпитаксии. Структурные особенности эпитаксиальных систем классифицируются на основе бикристаллографического подхода, с привлечением понятий о метрическом и симметрийном несоответствии компонентов эпитаксиальной пары. Рассмотрена методика идентификации ориентационных соотношений в гетероэпитаксиальных системах, основные источники упругих напряжений и механизмы их релаксации.
Учебник предназначен для бакалавров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника». Может быть полезен для аспирантов и научных сотрудников, специализирующихся в проблематике эпитаксиальных технологий.
Чтобы оставить свою оценку и/или комментарий, Вам нужно войти под своей учетной записью или зарегистрироваться
Пока никто не оставил впечатление о книге...
Пока никто не оставил цитат из этой книги...
Автор | Михаил Барятинский |
Жанр | Технические науки |
Год | 2009 |
Автор | Игорь Дроговоз |
Жанр | История, Военная техника и вооружение, Технические науки |
Год | 2001 |
Автор | С. Иванов |
Жанр | История, Военная техника и вооружение, Технические науки |
Год | 2005 |
Автор | Михаил Барятинский |
Жанр | Технические науки |
Год | 2006 |
Автор | С. Иванов |
Жанр | История, Военная техника и вооружение, Технические науки |
Год | 2005 |
Автор | P. Соловьев |
Жанр | Технические науки |
Год | 2008 |