Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микродлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумио-гехнических требований к проведению этих процессов, приведены меходы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять харакгер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии н оборудования.Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики..