Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Чтобы оставить свою оценку и/или комментарий, Вам нужно войти под своей учетной записью или зарегистрироваться
Пока никто не оставил впечатление о книге...
Пока никто не оставил цитат из этой книги...
Автор | Ian Sinclair |
Жанр | Техническая литература, Электроника |
Автор | Langbridge James |
Жанр | Радиотехника, Зарубежная образовательная литература, Высокие технологии, Техническая литература, Электроника, Кибернетика |
Автор | Reed Karin |
Жанр | Руководства, Зарубежная образовательная литература, Искусство фотографии, Телевидение, Электроника |
Автор | Сатья Наделла |
Жанр | Биографии и Мемуары, Зарубежная деловая литература, Зарубежная компьютерная литература, Техническая литература, Электроника |
Автор | Анатолий Кузнецов, Кузнецов Анатолий |
Жанр | Электроника |
Год | 2018 |
Жанр | Электроника |
Год | 2016 |